光刻机的最关键部件为镜头，很多人对这一“夹层玻璃”很不屑一顾，认为不便是一块破夹层玻璃嘛，可抽脸的是上微电子技术2007年就产品研发取得成功的国内90NM光刻机，却直至11年之后的2018年才可以宣布量产，难题便是被卡在这个“夹层玻璃”上。

　　镜头的较大 难度系数：【镜面玻璃光滑度】，以现阶段最顶级的EUV光刻机为事例，镜头的屏幕分辨率要做到5NM，代表着EUV的镜头的镜面玻璃光滑度要做到50皮米。这是什么定义？等同于把全部云南所有推翻并刮平路面，我省的平面度不可以超出1公分。要完成这一极端化规定，务必有着精度最大的电动打磨机、颗粒物较细的镜头耐磨材料、还得有称之为“火红金手指”的顶尖技工。卡尔蔡司现阶段的“火红金手指”技工精英团队不上20人，这也是ASML生产量不足的直接原因，由于镜头归属于规范非球的生产加工，没法纯机械设备打磨抛光，务必手工制作与机械设备相互配合。

　　上微电子技术2007年产品研发取得成功的90NM光刻机，那时候应用的【数值孔径为0.93NA，屏幕分辨率为90nm】的镜头由卡尔蔡司给予，可是在同一年随后被英国信用卡颈部，设备没法量产，历经10很多年的勤奋，在2018年，长春市国科高精密电子光学产品研发的【数值孔径0.75NA，屏幕分辨率为90nm】工程验收取得成功，纯国内90NM光刻机宣布量产。

　　上微电子技术将要量产28NM光刻机，表明国内镜头技术性又再次发展了，追逐卡尔蔡司和nikon是一刻不停，在电子信息技术和电力技术上，大家从不落伍，唯有差在机械设备精度和手工制作精度上。